ГРНТИ : Государственный рубрикатор научно-технической информации, 2001 |
47.13.11 - Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники. УДК 621.382.002 ВАК 05.27.06 |
Дальнейшее деление на подрубрики отсутствует
[Вернуться]
|